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文章出处:气相色谱仪 人气:发表时间:2020-03-31 15:53

氦离子产品参数

多维系统,通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程,完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。

高纯气体分析符合以下标准

1、高纯气标准
gb/t 8979-2008《高纯氮》 gb/t 14599-2008《高纯氧》
gb/t 4844.3-1995 《高纯氦》 gb/t 4842-2006《氩》
gb/t 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 gb/t 17873-1999《纯氖》
gb/t 5829-1995《氪气》 gb/t 5828-1995《氙气》
hg/t 3633-1999《纯甲烷》 gb 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》
2、电子气标准
gb/t 16942-1997《电子工业用气体 氢》
gb/t 16943-1997《电子工业用气体 氦》
gb/t 16944-1997《电子工业用气体 氮》
gb/t 16945-1997《电子工业用气体 氩》
gb/t 14604-93《电子工业用气体 氧》
gb/t 14600-93《电子工业用气体 氧化氩氮》
gb/t 14601-93《电子工业用气体 高纯氨》
gb/t 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》
gb/t 14603-93《电子工业用气体 三氟化硼》
 gb/t 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
gb/t 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》
gb/t 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》
gb/t 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》




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